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激光干涉儀是檢測、立式加工中心、龍門加工中心 臥式加工中心的主要的測量儀器

XD激光測量系統(tǒng)是一臺由外部計(jì)算機(jī)及其應(yīng)用程序控制的激光測量儀器。XD激光測量系統(tǒng)可以同時(shí)對六個(gè)自由度上的參數(shù)進(jìn)行測量,包括:線位移、水平直線度(XX)、垂直直線度(YY)、(水平面內(nèi))偏擺角(A)、(垂直面內(nèi))俯仰角(B)以及繞測量軸旋轉(zhuǎn)的滾擺角(C),如圖1-1所示。本系統(tǒng)主要的部件有激光頭(包括干涉儀、激光控制器和通信接口)、電源/控制盒、環(huán)境參數(shù)傳感器(也稱氣象傳感器)和一個(gè)配合5/6-D傳感單元的帶有收發(fā)器的參考水平儀(1/3-D系統(tǒng)中為球形角反射鏡)。圖2-1中列出了所有組件。激光頭產(chǎn)生激光用來測量六個(gè)參數(shù)中的其中五個(gè),剩下的滾擺角(roll)的測量則是通過一對電子水平儀來實(shí)現(xiàn)的,一個(gè)為參考水平儀,另一個(gè)為測量水平儀(包括在6-D傳感單元內(nèi))。干涉儀直接安裝在激光頭內(nèi)。電源/控制盒為激光頭提供電源。6-D傳感單元包括以下部件:一個(gè)角反射鏡(配合干涉儀用來測量線位移的精度);一個(gè)高精度的電子水平儀(測量水平儀)用來測量滾擺角;一個(gè)光學(xué)傳感器用來檢測測量過程中角度(俯仰角和偏擺角)變化和直線度變化。轉(zhuǎn)向鏡(turning mirror)用來改變激光的方向,當(dāng)需要在多個(gè)軸向上進(jìn)行測量時(shí)非常必要,被改變后的光束方向可以是另一個(gè)軸的方向也可以與原來的軸成斜角(對角線)。五棱鏡(Pentaprism)的作用類似于轉(zhuǎn)向鏡,其不同之處主要在于它的入射光與反射光之間的夾角總是精確的90o角,而轉(zhuǎn)向鏡反射時(shí)反射角總是等于入射角。五棱鏡主要用來測量各軸的垂直度。要對線位移進(jìn)行測量,從干涉儀出來的光束必須經(jīng)過一段行程(沿被測軸)再從另一窗口返回干涉儀。如果僅需要進(jìn)行線位移測量,用球型角反射鏡即可完成。如果要同時(shí)測量直線度和角度,則必須利用5/6-D傳感單元反射光束。在測量百標(biāo)準(zhǔn)機(jī)床時(shí),球型角反射鏡或5/6-D傳感單元通常裝在機(jī)床主軸上。氣象傳感器和溫度傳感器提供材料溫度、空氣溫度、大氣壓力和空氣濕度,計(jì)算補(bǔ)償程序利用它們提高測量精度。
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